天(tian)準科技(ji)參股的(de)蘇(su)州矽(xi)行半導(dao)體技(ji)術有限公司(si)宣布，公司(si)面(mian)向40nm技(ji)術節(jie)點(dian)(dian)的(de)明場納米(mi)圖(tu)形晶圓缺陷(xian)檢測設備TB1500已完成(cheng)廠內驗證。TB1500是矽(xi)行半導(dao)體最新的(de)研發(fa)(fa)成(cheng)果，核(he)心關鍵部件全部實現自主(zhu)可控，同時采用了(le)先(xian)進(jin)的(de)信號(hao)處理算法，有效提高信噪比和檢測靈敏度。為了(le)滿足40nm技(ji)術節(jie)點(dian)(dian)的(de)工藝(yi)制程需求，TB1500提升了(le)光源(yuan)亮度和感(gan)度，增大(da)了(le)物鏡(jing)視野和速度，能夠捕捉更小缺陷(xian)尺寸。矽(xi)行半導(dao)體面(mian)向28nm技(ji)術節(jie)點(dian)(dian)的(de)TB2000設備當前進(jin)展(zhan)順(shun)利，各核(he)心零部件均已完成(cheng)開(kai)發(fa)(fa)，計(ji)劃于2024年(nian)底發(fa)(fa)布樣(yang)機。（美通社）
