在2025年韓國半導體展(zhan)覽會上，Park Systems推出(chu)了(le)(le)(le)擴展(zhan)版FX大(da)型樣(yang)品(pin)AFM系列產品(pin)，包括(kuo)用于300毫米(mi)晶圓分(fen)析(xi)的Park FX300，以及集成了(le)(le)(le)紅外(wai)（IR）光(guang)譜(pu)技術的Park FX200 IR和FX300 IR。FX大(da)型樣(yang)品(pin)AFM系列通過自動化的探針識別(bie)與更換、二維碼系統以及AI驅(qu)動的激光(guang)對準功(gong)(gong)能(neng)，提升了(le)(le)(le)可用性，實(shi)現了(le)(le)(le)流暢操作(zuo)。StepScan功(gong)(gong)能(neng)進一步(bu)提高了(le)(le)(le)效率(lv)，使研究人(ren)員能(neng)夠以最少的人(ren)工(gong)干(gan)預分(fen)析(xi)各種(zhong)特性。（美(mei)通社）
