加快推進納米壓印光刻技術在光電制造領域的應用

兩家市場領導者開展推廣和技術合作，通過結合各自優勢，提供納米壓印光刻技術開發工具包，并實現大批量生產

奧地利圣(sheng)弗洛里安和東京2022年9月(yue)20日(ri) /美通(tong)社(she)/ -- 全球(qiu)首(shou)屈一(yi)指(zhi)的(de)光(guang)掩模供應商Toppan Photomask Co. Ltd.與為MEMS、納(na)米技(ji)術和半(ban)導體市場提供晶圓鍵(jian)合(he)及光(guang)刻設備的(de)領(ling)先供應商EV Group（簡稱EVG）今天宣布，兩家公司已達成(cheng)協(xie)議，共同(tong)推廣賦能光(guang)電產業的(de)大批量制(zhi)造(HVM)工藝—納(na)米壓印光(guang)刻技(ji)術(NIL)。

此次(ci)合作(zuo)結合NIL系(xi)統(tong)的(de)領先供(gong)應商(shang)和開(kai)創者與半導(dao)體市場的(de)光掩模領先供(gong)應商(shang)的(de)優勢，旨在(zai)確立NIL為光電(dian)制造(zao)的(de)行業標準生產工(gong)藝，并加速其在(zai)HVM中實施，以支持各種應用(yong)。這些(xie)應用(yong)包括增(zeng)強/混合/虛擬(ni)現實耳機、智(zhi)能手(shou)機、汽(qi)車傳感器和醫療成像系(xi)統(tong)。

作為此(ci)次非(fei)排他性合作的(de)(de)(de)一部(bu)分，EVG和Toppan Photomask將(jiang)結合各自(zi)的(de)(de)(de)知識、專長和服務(wu)，利用(yong)(yong)Toppan Photomask提(ti)供的(de)(de)(de)主模板和EVG提(ti)供的(de)(de)(de)設備(bei)及工藝開發服務(wu)，提(ti)供NIL開發工具包，以(yi)進一步推(tui)廣NIL技術(shu)并(bing)提(ti)高將(jiang)該技術(shu)應用(yong)(yong)于(yu)工業(ye)(ye)生產的(de)(de)(de)可能(neng)性。EVG還(huan)將(jiang)在(zai)其(qi)位于(yu)奧地(di)利總部(bu)的(de)(de)(de)EVG NILPhotonics®能(neng)力中心，面向感興(xing)趣的(de)(de)(de)公司(si)提(ti)供NIL技術(shu)和產品演(yan)示(shi)。此(ci)外，對(dui)于(yu)有意在(zai)生產過(guo)程(cheng)中使(shi)用(yong)(yong)NIL技術(shu)的(de)(de)(de)企(qi)業(ye)(ye)，兩(liang)家(jia)公司(si)都將(jiang)對(dui)方指(zhi)定為首選(xuan)推(tui)薦的(de)(de)(de)供應鏈合作伙伴(ban)。

Toppan Photomask Co. Ltd.首席技術官全燦旭(Chan-Uk Jeon)表示：“Toppan Photomask非(fei)常高(gao)(gao)興(xing)能與EVG合(he)作。EVG的(de)(de)NIL工(gong)具和(he)加工(gong)能力是世界(jie)一流的(de)(de)，將提高(gao)(gao)光(guang)電技(ji)術(shu)和(he)其他將采用NIL技(ji)術(shu)的(de)(de)新技(ji)術(shu)成本效益。Toppan Photomask認為，兩家公司都(dou)具有(you)顯著的(de)(de)優(you)勢，在此推動(dong)下，NIL技(ji)術(shu)有(you)著良好的(de)(de)發展前景，有(you)望(wang)成為另(ling)一種成功的(de)(de)光(guang)刻解決(jue)方案。”

實現納米壓印光刻技術成為主流制造技術

在創建任意形狀的(de)(de)精細圖案(an)(an)（如超構透鏡）的(de)(de)未來(lai)應(ying)用方(fang)面，傳統(tong)的(de)(de)光刻技術已達到了極限(xian)。NIL是一種公認且具有(you)成本效(xiao)益(yi)的(de)(de)工藝，可在復雜的(de)(de)結構上生(sheng)成納米級分(fen)辨率(lv)的(de)(de)圖案(an)(an)，因(yin)此(ci)是這些應(ying)用的(de)(de)可行替代方(fang)案(an)(an)。NIL可以非常有(you)效(xiao)地(di)大面積(ji)復制這些復雜的(de)(de)結構，設(she)計限(xian)制較少，且工藝流程非常精簡，因(yin)此(ci)非常適用于原型(xing)設(she)計和HVM。

20多年來(lai)，EVG一直是(shi)(shi)NIL技術(shu)領(ling)域(yu)的開(kai)創者，通過(guo)與(yu)光(guang)學材料（如粘合(he)劑(ji)和抗(kang)蝕劑(ji)）、基板(ban)材料和印章生產供應(ying)商(shang)，以(yi)及光(guang)學元件和設備制造(zao)(zao)商(shang)等整個NIL供應(ying)鏈中(zhong)的企業(ye)合(he)作，為(wei)(wei)打造(zao)(zao)更加(jia)廣(guang)泛的NIL生態(tai)系統做出(chu)貢獻(xian)。EVG和Toppan Photomask分別是(shi)(shi)光(guang)刻和光(guang)掩模制造(zao)(zao)領(ling)域(yu)的知名行業(ye)領(ling)導者，兩家公司(si)通過(guo)合(he)作，旨將NIL作為(wei)(wei)光(guang)電行業(ye)的主(zhu)流(liu)HVM技術(shu)加(jia)以(yi)推廣(guang)。

EV Group企業(ye)技(ji)術開發和知識產權總監Markus Wimplinger稱：“我們(men)很高(gao)興(xing)與Toppan Photomask合(he)作，將(jiang)納米壓(ya)印(yin)光(guang)刻(ke)技(ji)術引入(ru)主(zhu)流制造應(ying)用。作為(wei)(wei)以最(zui)高(gao)質(zhi)量(liang)標(biao)準著稱的(de)(de)(de)(de)領先半導體光(guang)掩模(mo)供(gong)應(ying)商(shang)(shang)，Toppan Photomask在使(shi)用滿(man)足全球最(zui)嚴格生(sheng)產要(yao)求的(de)(de)(de)(de)標(biao)準化生(sheng)產方法方面擁有(you)豐富(fu)的(de)(de)(de)(de)經(jing)驗。此(ci)次是納米壓(ya)印(yin)工(gong)藝設(she)備和服務提(ti)供(gong)商(shang)(shang)與納米壓(ya)印(yin)母版(ban)生(sheng)產商(shang)(shang)之間的(de)(de)(de)(de)首次合(he)作，對行業(ye)來(lai)說(shuo)是一次巨大(da)的(de)(de)(de)(de)勝利，我們(men)將(jiang)通過(guo)合(he)作，幫助(zhu)我們(men)的(de)(de)(de)(de)客戶(hu)迅速擴大(da)NIL應(ying)用，使(shi)之成為(wei)(wei)先進光(guang)學設(she)備和元(yuan)件的(de)(de)(de)(de)批量(liang)生(sheng)產技(ji)術，幫助(zhu)他(ta)們(men)將(jiang)新的(de)(de)(de)(de)‘虛擬’構思變為(wei)(wei)現實。”

即將舉行的納米壓印行業活動

兩(liang)家公司的(de)專家將(jiang)參(can)加9月(yue)19日至23日在比利時魯汶Gasthuisberg學術園(yuan)區(qu)舉行(xing)的(de)Micro and Nano Engineering (MNE) Eurosensors 2022 Conference大會(hui)，并在會(hui)上(shang)對(dui)此次合作進(jin)行(xing)討論(lun)。與會(hui)者(zhe)可參(can)觀EVG的(de)S8號展(zhan)位，以獲取更多信(xin)息。

此外，EVG的(de)Christine Thanner將出席(xi)于(yu)10月5日在日本富山(shan)舉(ju)行的(de)納米(mi)壓印(yin)和納米(mi)印(yin)刷技術(NNT)會議，并將在全體大(da)會上發表題為 “納米(mi)壓印(yin)—從小眾(zhong)到大(da)批量(liang)生產”的(de)特(te)邀演講(jiang)，屆時她(ta)將闡(chan)述NIL母版制造技術、復制設備和工藝的(de)匹配組合的(de)重(zhong)要性。

NILPhotonics能力中心：靈活的合作模式

EVG的NILPhotonics能力中(zhong)心為整(zheng)個NIL供(gong)應鏈中(zhong)的客戶和(he)合(he)作伙伴提供(gong)開(kai)放的創新孵化(hua)器，讓他們可(ke)以通(tong)過合(he)作，縮短(duan)創新光(guang)電設備和(he)應用的開(kai)發周(zhou)期及上市(shi)時(shi)間(jian)。該中(zhong)心高(gao)度靈活(huo)，可(ke)滿(man)足客戶的不同需求，同時(shi)確(que)保(bao)(bao)為開(kai)發過程(cheng)中(zhong)的每(mei)個環節提供(gong)最高(gao)水平(ping)的IP保(bao)(bao)護(hu)。潔凈室(shi)旨在滿(man)足最嚴格的客戶要(yao)求，并實現(xian)虛擬生產(chan)線概念，即(ji)將晶圓(yuan)重新引入客戶的晶圓(yuan)廠，以對其進(jin)(jin)行進(jin)(jin)一步加工。詳(xiang)情請訪問：。

全球首款室外測距最長可達20米，為傳統產品5倍以上的CMOS圖像傳感器
有望在(zai)自動飛行無人機(ji)等(deng)工業領(ling)域作為圖像傳感(gan)器和相機(ji)實現廣(guang)泛應用

東京2022年6月(yue)16日(ri) /美通社(she)/ -- 凸(tu)版印刷(shua)株(zhu)式(shi)會(hui)社(she)（總(zong)公(gong)司(si)(si)：東京都文京區，代(dai)表取締役社(she)長：麿秀晴，以下(xia)(xia)簡(jian)稱"凸(tu)版印刷(shua)"）與(yu)子公(gong)司(si)(si)株(zhu)式(shi)會(hui)社(she)Brookman Technology（總(zong)公(gong)司(si)(si)：靜岡縣濱松市，代(dai)表取締役社(she)長：青山聰，以下(xia)(xia)簡(jian)稱"Brookman Technology"）共(gong)同開發(fa)出一(yi)款采(cai)用"混合型（hybrid）ToF（光飛(fei)行(xing)時間(jian)）法(fa)"（※1）的(de)(de)"三維距離圖像傳(chuan)感(gan)器(qi)（以下(xia)(xia)簡(jian)稱"3D傳(chuan)感(gan)器(qi)"）"。該(gai)款傳(chuan)感(gan)器(qi)可(ke)(ke)實(shi)現在(zai)1～30米范圍(wei)內(nei)的(de)(de)距離測量，是目前(qian)主流的(de)(de)"間(jian)接ToF法(fa)"3D傳(chuan)感(gan)器(qi)測距范圍(wei)的(de)(de)5倍以上。自(zi)動飛(fei)行(xing)無人(ren)機(ji)或自(zi)動運輸機(ji)器(qi)人(ren)等(deng)通過(guo)配備傳(chuan)感(gan)器(qi)后，可(ke)(ke)避免與(yu)障礙(ai)物發(fa)生碰撞，有助于提(ti)升該(gai)類設備的(de)(de)可(ke)(ke)操作性和(he)安全性。

此外，該款(kuan)采用混合型ToF法(fa)的(de)(de)3D傳感(gan)器(qi)還配(pei)備了(le)獨家的(de)(de)環境(jing)(jing)光噪聲消除功能，是全球(qiu)首款(kuan)（※2）可在(zai)相當于盛夏(xia)白天光照強(qiang)度(du)達到10萬勒克(ke)斯（lux）環境(jing)(jing)下(xia)，實現最(zui)長20米室外測距的(de)(de)CMOS圖(tu)像傳感(gan)器(qi)。

6月15日(ri)(ri)，在(zai)美國(guo)火奴魯魯召開的半導體(ti)技術國(guo)際會(hui)(hui)議"VLSI 國(guo)際研討會(hui)(hui)(全(quan)稱：2022 IEEE Symposium on VLSI Technology & Circuits）"（主辦方：美國(guo)電氣與(yu)電子工程師協(xie)會(hui)(hui)，會(hui)(hui)期(qi)：6月13日(ri)(ri)至(zhi)17日(ri)(ri)）上，由凸版印(yin)刷(shua)、Brookman Technology 和靜(jing)岡大(da)學聯合發表(biao)了該項(xiang)新型ToF 傳感器(qi)技術。

• 開發背景

近年(nian)來，隨著智能(neng)(neng)手(shou)機(ji)和(he)游戲機(ji)功(gong)(gong)能(neng)(neng)的(de)增強、工業自動(dong)駕駛(shi)機(ji)器(qi)人等的(de)普及(ji)，3D傳(chuan)(chuan)感器(qi)市場有望進(jin)一(yi)步(bu)擴(kuo)大。根據距離檢(jian)測(ce)(ce)原理的(de)不同(tong)，3D傳(chuan)(chuan)感器(qi)存在幾種測(ce)(ce)距方式(shi)，而通(tong)過測(ce)(ce)量光線(xian)照射(she)到被攝體并返回傳(chuan)(chuan)感器(qi)所需(xu)的(de)時間來估算相機(ji)到被攝體距離的(de)"ToF法"，則隨著近年(nian)技術發展的(de)進(jin)步(bu)，以其小型化和(he)低功(gong)(gong)耗(hao)等的(de)特(te)點而最先被智能(neng)(neng)手(shou)機(ji)所采用。

自(zi)動駕駛的(de)(de)(de)機器人(ren)和(he)無人(ren)機需(xu)要(yao)配備"環(huan)境(jing)映射(she)"功能，才能檢(jian)測出幾十米開外(wai)的(de)(de)(de)障(zhang)礙物并從捕(bu)獲的(de)(de)(de)圖像(xiang)中掌握自(zi)身所處的(de)(de)(de)位置，而目前主流(liu)的(de)(de)(de)"間(jian)接ToF法(fa)"3D傳感器在戶外(wai)使(shi)用(yong)時，由于其(qi)(qi)缺乏足夠的(de)(de)(de)"抗(kang)環(huan)境(jing)光(guang)"性能，因此阻礙了其(qi)(qi)進一步的(de)(de)(de)普及應用(yong)。

凸版印刷(shua)將(jiang)Brookman Technology納(na)為子公(gong)司后，靈活發(fa)揮兩家(jia)公(gong)司的(de)(de)(de)優勢(shi)，全面推動(dong)新型3D傳感(gan)器的(de)(de)(de)研發(fa)工作。通過(guo)改進Brookman Technology專長(chang)的(de)(de)(de)"短脈沖驅動(dong)方(fang)式"（※3），成功研發(fa)出了(le)全新的(de)(de)(de)混合型ToF技術，不(bu)但(dan)具(ju)備遠距(ju)離測量和優異的(de)(de)(de)抗環境光性(xing)能，還(huan)實(shi)現了(le)高速(su)圖像捕獲和多臺同時驅動(dong)的(de)(de)(de)功能。

• 本次開發的新型ToF傳感器的關鍵特性

1. 可實現30m遠距離測量

通(tong)過采(cai)用(yong)混(hun)合型ToF驅(qu)動方式，可實現(xian)長達30米的(de)遠距離測量(liang)，約(yue)為現(xian)有機型的(de)5倍。

2. 配備環境光噪聲消除功能，可在盛夏的室外進行測量

傳感(gan)器(qi)的每個像素都配備了消(xiao)(xiao)除環(huan)(huan)(huan)境(jing)光成分的功能。因此，該傳感(gan)器(qi)可(ke)以消(xiao)(xiao)除環(huan)(huan)(huan)境(jing)光噪聲，即使(shi)是(shi)在盛(sheng)夏白天光照強度達(da)到(dao)10萬勒克斯(si)的環(huan)(huan)(huan)境(jing)下，也能夠準確測量距離(li)。

3. 每秒120張的高速圖像捕獲功能

通(tong)過在一幀內(nei)完(wan)成(cheng)測(ce)距(ju)與消除環(huan)境光噪(zao)聲，確保不(bu)會發(fa)生成(cheng)像模糊而導致"測(ce)量誤差"，實現精準測(ce)距(ju)。因此(ci)，1秒內(nei)最多可以捕獲120張距(ju)離圖像，大約(yue)是傳(chuan)統機(ji)型的(de)四(si)倍多。

4. 最多可同時驅動256臺相機

采用(yong)獨(du)家控制方式，可(ke)以像消除環境光(guang)一樣消除其(qi)他相機所(suo)發出的信號光(guang)。因(yin)此，可(ke)以同時驅動多臺(tai)相機而(er)不(bu)產生干(gan)擾，最多可(ke)以同時驅動256臺(tai)相機。

• 今后的目標

凸(tu)版印刷(shua)與(yu)Brookman Technology今后將致力于(yu)在自動駕駛機器人和工業設備(bei)等領域普及新(xin)型ToF傳(chuan)感(gan)器，給此類(lei)設備(bei)安裝上這雙可(ke)提升(sheng)性(xing)能的全(quan)新(xin)"眼睛"，為(wei)實(shi)現(xian)更(geng)安全(quan)、更(geng)便捷的社會做(zuo)出貢獻。目前，凸(tu)版印刷(shua)正(zheng)在研發相(xiang)應的相(xiang)機以搭載采用新(xin)型ToF法的距(ju)離(li)傳(chuan)感(gan)器，并計(ji)劃于(yu)2022年12月開始提供(gong)評估機型，在2023年秋季正(zheng)式上市銷(xiao)售(shou)。

凸(tu)版(ban)印刷(shua)預計在2025年度內(nei)，實(shi)現包括新(xin)型(xing)ToF傳感器(qi)及搭載該類傳感器(qi)的(de)相(xiang)機、以及相(xiang)關(guan)周(zhou)邊訂(ding)單在內(nei)的(de)銷售額約70億日元的(de)目標。

關于Brookman Technology

Brookman Technology（原株(zhu)式(shi)會(hui)社Brookman Lab）是由靜岡大(da)學(xue)(xue)電子(zi)工學(xue)(xue)研究所的(de)川人祥二教授基(ji)于(yu)在文部科學(xue)(xue)省"濱松地區智慧(hui)集群(qun)創業"項(xiang)目中的(de)研究成果，將民營企業的(de)經營管理經驗與(yu)產(chan)品(pin)商業化技術相結合，于(yu)2006年2月成立的(de)一家公(gong)司。此(ci)后，參與(yu)了多項(xiang)CMOS集成電路(lu)、圖像傳(chuan)感(gan)器、ToF傳(chuan)感(gan)器的(de)研發和設計工作。2021年3月，凸版(ban)印(yin)刷(shua)收購該公(gong)司94.6%的(de)股份，將其納為(wei)旗下子(zi)公(gong)司。

關于凸版印刷

凸版印刷(shua)(shua)是一家(jia)在印刷(shua)(shua)、通信、安防(fang)、包裝、裝飾材料、電子和(he)數(shu)字轉(zhuan)型領(ling)域提(ti)供(gong)綜合解(jie)決方(fang)案的(de)(de)(de)全(quan)球領(ling)先供(gong)應(ying)商。我(wo)們(men)的(de)(de)(de)全(quan)球團隊擁有超過(guo)50,000名員工，為各個(ge)行業的(de)(de)(de)客戶提(ti)供(gong)由行業領(ling)先的(de)(de)(de)專業知識和(he)技術結合的(de)(de)(de)最佳解(jie)決方(fang)案，以應(ying)對(dui)企業和(he)社會在當今瞬息(xi)萬變的(de)(de)(de)市場中所面臨(lin)的(de)(de)(de)各種挑(tiao)戰。

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※1 "混(hun)合(he)型ToF法(fa)"是(shi)指通過靜(jing)岡(gang)大學川人祥二教授提出的(de)(de)ToF測量法(fa)，在采用相(xiang)(xiang)位差(cha)測距的(de)(de)"間(jian)(jian)接(jie)(jie)(jie)ToF法(fa)"的(de)(de)基礎上，結合(he)了用時(shi)(shi)間(jian)(jian)差(cha)測距的(de)(de)"直接(jie)(jie)(jie)ToF法(fa)"的(de)(de)功能而(er)產生的(de)(de)一項新型傳感技術(shu)。由于(yu)此(ci)項技術(shu)通過組合(he)多個短(duan)時(shi)(shi)間(jian)(jian)窗口(kou)，即所謂的(de)(de)"多時(shi)(shi)間(jian)(jian)窗口(kou)技術(shu)"，來(lai)估算(suan)光的(de)(de)往返(fan)時(shi)(shi)間(jian)(jian)，因此(ci)與傳統的(de)(de)間(jian)(jian)接(jie)(jie)(jie)ToF法(fa)相(xiang)(xiang)比，具(ju)有(you)在室外測距時(shi)(shi)不(bu)容易受到(dao)環境光噪聲影(ying)響的(de)(de)特性。

※2 作為不使(shi)用雪崩光電(dian)二極管而是采(cai)用傳統CMOS圖(tu)像傳感器像素結(jie)構(gou)的ToF傳感器，基于本(ben)公司針對(dui)現有(you)技術論文及現有(you)產品目錄調查得出的結(jie)果（截至2022年(nian)6月(yue)）。

※3 "短(duan)脈沖驅動方式(shi)"是(shi)指與持(chi)續(xu)發射連(lian)續(xu)波激光的"連(lian)續(xu)波法"不同，通(tong)過照射時間(jian)寬(kuan)度極短(duan)的脈沖激光來(lai)進行測距的驅動方式(shi)。

*本公(gong)(gong)司新聞中(zhong)記載(zai)的產品(pin)和服務名稱是各公(gong)(gong)司的商標或注(zhu)冊商標。

*本公司新聞所記載的(de)內容截至發布之(zhi)日準確可靠。如有更改，恕不另行通知。