隨著高(gao)(gao)速(su)運算、高(gao)(gao)頻通訊、AI加速(su)器及(ji)高(gao)(gao)效能服務(wu)器等應用(yong)快速(su)推進(jin)，TGV技術成為先進(jin)封裝關(guan)鍵工藝，具備低介電常數(shu)、優異熱穩定(ding)性及(ji)高(gao)(gao)密度(du)(du)I/O整(zheng)合(he)能力，應用(yong)于玻璃芯（Glass Core）與2.5D/3D中(zhong)介層（Interposer）等高(gao)(gao)階(jie)封裝結構(gou)，產業應用(yong)熱度(du)(du)居(ju)高(gao)(gao)不(bu)下，發(fa)展潛力龐大(da)，但(dan)TGV前段制(zhi)程(cheng)中(zhong)的激光改質(zhi)質(zhi)量(liang)長(chang)期無法(fa)實時掌握，成為良率(lv)與成本控制(zhi)的挑戰(zhan)，尤(you)其(qi)是改變不(bu)同(tong)高(gao)(gao)低價位的玻璃材(cai)質(zhi)時。

TGV業界知名激光改質設備公司海納光電總經理江朝宗表示：“我們非常欣賞與肯定蔚華科技所推出的業界首創激光斷層掃描檢測設備SP8000G，讓我們能在不破壞玻璃襯底下直接看到激光改質真實分布狀況，這對于我們提升激光改質機性能與質量產生極大幫助。”海(hai)納(na)光電(dian)長期(qi)致力(li)于TGV激(ji)光制程(cheng)材料與工藝開發，對SpiroxLTS技(ji)(ji)術(shu)(shu)高度(du)肯定，相信此技(ji)(ji)術(shu)(shu)將為(wei)激(ji)光制程(cheng)數據化、可視(shi)化奠定基礎，并(bing)為(wei)材料研發與制程(cheng)調校提供(gong)精準平臺。海(hai)納(na)光電(dian)與蔚華(hua)科技(ji)(ji)的技(ji)(ji)術(shu)(shu)互補(bu)，展現整(zheng)合開發與量產應用高度(du)潛力(li)。

SpiroxLTS讓玻璃內部激光改質層可視化，對開發高質量Glass Core產品極為關鍵。過去在材料開發與制程優化階段，需仰賴破壞性方式才能間接推估改質狀態，如今可直接取得非破壞性數據，將大幅縮短開發時程并提升改質均勻性掌控能力。目前為業界極少數符合AI需求之高質量TGV 玻璃芯襯底供貨商之一，晶呈科技股份有限公司表示：“玻璃內部激光改質層可視化，可凸顯晶呈科技玻璃鉆孔之真圓、準直、孔壁平坦度之優異特性，對于玻璃芯襯底量產化及良率提升肯定有幫助。”

根據(ju)TGV業(ye)界封(feng)裝襯底金屬化(hua)與(yu)增層制程(cheng)的多(duo)家主力廠商表示，TGV金屬化(hua)與(yu)后段(duan)增層對孔徑結構與(yu)改(gai)質(zhi)質(zhi)量要求(qiu)極高，過去信息取(qu)得困難，常導致后段(duan)制程(cheng)挑(tiao)戰。經(jing)過實測驗(yan)證，SpiroxLTS非(fei)破壞性檢(jian)測技(ji)術可讓業(ye)界在材料與(yu)制程(cheng)驗(yan)證階段(duan)即導入質(zhi)量篩選機制，對實現高階封(feng)裝TGV襯底的穩(wen)定量產，具有關鍵意義。

蔚華科技總經理楊燿州表示：“很榮幸SP8000G能成功解決TGV改質無法被看到的問題，并獲得業界指針性激光改質設備商海納光電、玻璃芯襯底制造商晶呈科技，以及TGV玻璃襯底技術領導廠商欣興電子的共同肯定。除了激光改質檢測，SP8000G亦能非破壞性地精準檢測TGV蝕刻孔腰身位置、孔壁粗糙度與鍍銅孔壁玻璃裂紋，皆為目前TGV業界難以找到的檢測解方。相信以SpiroxLTS技術，能大幅加速推動TGV市場量產時程。”楊(yang)燿(yao)州進(jin)一步(bu)指出，SpiroxLTS已優先導入玻璃芯(xin)與(yu)中介層等(deng)高(gao)頻高(gao)速封(feng)裝應用，支(zhi)持材料評估、制(zhi)程(cheng)導入與(yu)量(liang)產監控，將成為TGV工藝量(liang)產的重要推動力。

關于蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區測試、封裝、檢測、驗證的專業品牌，為半導體與電子制造產業提供完整解決方案，旗下代理與自有品牌橫跨封測、光學、激光與材料檢測多領域，致力于提供前瞻技術與高附加價值服務。蔚華科技成立于1987年，總部設于新竹，并于上海、蘇州、深(shen)圳設有營運與服務據點，更多信息請參閱www.spirox.com。

關于海納光電

海納光電股份有限公司專注于激光精密微加工技術與設備開發，擅長處理半導體與光電產業常用的硬脆材料，包括硅、碳化硅、氮化硅、陶瓷、氧化鋯、光學玻璃、藍寶石、鉆石及特殊金屬，提供微米級精細切割、微孔加工與微結構制程。服務涵蓋半導體、光電、AR/VR、汽車及醫療等產業。除深耕臺(tai)灣地區高科技市場外，海納激光系統亦營銷至英、美、日等國際大廠，并提供特約代工與技術開發服務。更多信息請參閱www.hinanomms.com。

關于晶呈科技

晶呈科技為國內極少數掌握高厚度玻璃襯底激光改質核心技術之企業，專注于玻璃芯產品的開發與量產，自創LADY（Laser Arrow Decomposition Yield）制程，具備高厚度玻璃的激光改質、蝕刻與后段清洗整合能力，達成玻璃鉆孔真圓、準直、孔壁平坦、均一及高密度規格要求，能依應用需求客制化改質結構與孔徑設計。晶呈在TGV制程中扮演中游關鍵角色，為整體供應鏈提供穩定且高質量的玻璃基材與制程支持，協助客戶加速先進封裝導入。更多信息請參閱www.ingenteccorp.com。

關于欣興電子

欣興電子為臺灣首批導入TGV（Through Glass Via）玻璃襯底技術的領導廠商，已投入研發逾十年。初期將采用日韓玻璃供貨商完成激光改質與鉆孔，預計自家產線于2025年下半年成熟，并結合既有ABF制程進行載板制造。預期2028年起進入垂直整合量產階段，為高階封裝發展奠定關鍵基礎。更多信息請參閱www.unimicron.com。

在(zai)電動車(che)和再(zai)生能源應用(yong)(yong)需求的(de)(de)(de)(de)驅動下，功率半導(dao)體組件(jian)市場(chang)呈現(xian)快速成(cheng)長(chang)的(de)(de)(de)(de)趨勢。相較(jiao)于傳統IGBT硅(gui)芯(xin)片(pian)，碳化硅(gui)在(zai)高溫高壓的(de)(de)(de)(de)環(huan)境下能有更高效率及更少損耗的(de)(de)(de)(de)表現(xian)，雖然(ran)硅(gui)芯(xin)片(pian)在(zai)半導(dao)體產業(ye)中仍占(zhan)據主導(dao)地位，但已(yi)有越(yue)來越(yue)多的(de)(de)(de)(de)高效能產品逐漸(jian)轉向采用(yong)(yong)第三代半導(dao)體等寬禁帶材料作為芯(xin)片(pian)設計架構的(de)(de)(de)(de)基(ji)礎(chu)，依EETimes Asia預估，2026年碳化硅(gui)電源組件(jian)中的(de)(de)(de)(de)車(che)用(yong)(yong)電子市場(chang)將成(cheng)長(chang)至(zhi)近40億美元(yuan)。

隨著功率半導體的材料發展，車用電子驗證規范也制定新的標準，ECPE AQG 324也因此成為進入車用電子市場的重要門票。目前全球僅有艾默(mo)生/NI旗下SET的德國實驗室可提供完整碳化硅電源組件的質量驗證，蔚華科技與艾默生(sheng)/NI瞄準市場商機，攜手(shou)在臺(tai)灣新竹共同建(jian)置亞太(tai)地區首座功率半導(dao)體動(dong)態可靠度(du)驗(yan)證實(shi)驗(yan)室，協助亞太(tai)客戶(hu)進行車用功率半導(dao)體的(de)先(xian)期(qi)動(dong)態可靠度(du)驗(yan)證服務，可加速客戶(hu)的(de)產品研發時程。

蔚華科技總經理楊燿州表示，功率半導體的應用市場龐大，亞太地區為半導體生產制造重心，需求將遠超過全球其他區域。蔚華科技自2019年起與艾默生/NI合作經銷STS測試系統，此次擴大結盟，由艾(ai)默生/NI協助指導將德國實驗室的驗證技術轉移至亞洲，蔚華除了負責營運功率半導體動態可靠度驗證實驗室，為亞太地區碳化硅車用模塊客戶提供新產品開發期驗證服務之外，同時也將繼續肩負艾默生/NI重要經銷伙伴的角色，在兩岸推廣艾默(mo)生/NI的功率半導體可(ke)靠度測試設備(bei)，提供(gong)(gong)DGS/動態(tai)(tai)HTGB、動態(tai)(tai)H3TRB/DRB、IOL 與功率循(xun)環(huan)三大測試系統的銷售，依客(ke)戶需求提供(gong)(gong)驗證及設備(bei)的完整解決(jue)方(fang)案，為客(ke)戶提供(gong)(gong)更(geng)實時、專業(ye)、可(ke)靠的售后服務。

恩艾（艾默生/NI）亞太區副總裁蘇利發（Joseph Soo）表示，艾默生/NI致(zhi)力于(yu)提(ti)供高彈性(xing)的測試解決方案，協助客戶生產滿足安(an)全標準(zhun)的產品。此次與(yu)蔚華(hua)合作建置亞(ya)太(tai)地區首座功率半(ban)導(dao)(dao)(dao)體動態(tai)可靠(kao)度驗證實(shi)驗室，負責協助將德國實(shi)驗室的驗證技術轉移(yi)至亞(ya)洲，可加(jia)速亞(ya)太(tai)地區客戶的產品研發時(shi)程(cheng)，輔以(yi)蔚華(hua)在兩岸半(ban)導(dao)(dao)(dao)體業的客戶關系(xi)與(yu)專業工程(cheng)團隊，期望能對亞(ya)太(tai)地區的功率半(ban)導(dao)(dao)(dao)體技術發展提(ti)供助力。

關于蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及產品，提供半導體各個制程與不同產品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, TASMIT, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業分工，提供半導體、電子制造、通信及車用電子等科技產業高質量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年，總部位于臺灣新竹，于上海、蘇州、深圳皆有服務據點。更多信息請瀏覽公司官網 www.spirox.com。

關于NI （現為艾默生旗下一員）

恩艾（NI）正在改變工程師和科學家構建測試、控制和嵌入式設計應用系統的方式。透過使用艾默生/NI的圖形化程序軟件和模塊化硬件平臺，半導體設備的設計者和制造商可以在驗證實驗室和生產車間中提升測試質量和效率，從而縮短上市時間、提高生產力，并顯著降低測試成本。更多信息請瀏覽公司官網 www.ni.com 。

需求迅速爆發 SiC襯底與組件供不應求 唯KOH是高成本痛點

在現今環境永續意識抬頭的(de)全球(qiu)趨(qu)勢下(xia)，許多國家已制定電動(dong)車的(de)階段性政策目標，SiC芯片需求(qiu)迅速爆發，尤其用(yong)于生產電動(dong)汽車使(shi)用(yong)的(de)耐高溫高壓SiC功率半導(dao)體(ti)組件，供給量遠(yuan)遠(yuan)不及需求(qiu)。

第三代(dai)半導體(ti)的(de)襯底材(cai)料質量決(jue)定下(xia)游(you)芯片(pian)的(de)可(ke)靠度及(ji)性能(neng)(neng)優劣，但SiC長(chang)晶(jing)速度較(jiao)慢，且襯底晶(jing)體(ti)缺陷只(zhi)能(neng)(neng)以破(po)壞(huai)性的(de)KOH蝕刻(ke)方式進行抽樣檢測，使(shi)得SiC芯片(pian)制程(cheng)(cheng)成本居高(gao)不下(xia)，目前全球主要襯底廠(chang)皆積極(ji)投資產能(neng)(neng)擴充并(bing)改(gai)善(shan)制程(cheng)(cheng)，加速產業布局以搶(qiang)攻(gong)市(shi)占率。襯底廠(chang)與組(zu)件廠(chang)若能(neng)(neng)在制程(cheng)(cheng)中(zhong)對材(cai)料做全面非破(po)壞(huai)性檢測，不僅可(ke)減(jian)少原(yuan)本KOH蝕刻(ke)的(de)有害化(hua)學溶液使(shi)用量，更(geng)能(neng)(neng)及(ji)早發現(xian)問題，進而(er)有效改(gai)善(shan)制程(cheng)(cheng)、提升(sheng)良(liang)率，進而(er)在第三代(dai)半導體(ti)市(shi)場中(zhong)展現(xian)絕佳優勢。

JadeSiC-NK以非線性光學檢測取代現行破壞性KOH蝕刻 可降低成本提高產能  

南(nan)方(fang)科技(ji)(ji)總經理王嘉業(ye)表(biao)示，目前市場上(shang)的(de)光學技(ji)(ji)術只(zhi)能檢測(ce)表(biao)面非晶體(ti)缺陷，JadeSiC-NK系統(tong)采(cai)用先進的(de)非線性(xing)光學技(ji)(ji)術，可對全片襯底表(biao)面到特(te)定(ding)(ding)深度進行掃描，反(fan)應晶體(ti)結(jie)構信息，提供晶體(ti)缺陷密度及其分(fen)布(bu)狀(zhuang)況，讓客戶有效(xiao)掌(zhang)握襯底質量，未(wei)來(lai)生產出的(de)組件質量與(yu)效(xiao)能也能更(geng)加穩定(ding)(ding)。

王嘉業(ye)進(jin)(jin)一步說明，JadeSiC-NK非破壞性(xing)缺陷檢測系統(tong)專注在穩(wen)定且(qie)有效地(di)找出襯(chen)底(di)(di)(di)中(zhong)的(de)(de)致(zhi)命性(xing)晶(jing)(jing)(jing)(jing)體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相(xiang)較現行將SiC晶(jing)(jing)(jing)(jing)錠切(qie)片(pian)后取(qu)上下二(er)(er)片(pian)襯(chen)底(di)(di)(di)進(jin)(jin)行檢測的(de)(de)KOH蝕刻(ke)方式(shi)，可(ke)大幅節省(sheng)檢測時間與襯(chen)底(di)(di)(di)成本(ben)(ben)。以每(mei)(mei)個(ge)(ge)(ge)(ge)長(chang)晶(jing)(jing)(jing)(jing)爐(lu)每(mei)(mei)月產出四(si)個(ge)(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)錠為例，采用JadeSiC-NK后，每(mei)(mei)個(ge)(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)錠可(ke)省(sheng)下二(er)(er)片(pian)襯(chen)底(di)(di)(di)成本(ben)(ben)（每(mei)(mei)片(pian)6寸襯(chen)底(di)(di)(di)以800美元(yuan)計），因此可(ke)推估一個(ge)(ge)(ge)(ge)長(chang)晶(jing)(jing)(jing)(jing)爐(lu)每(mei)(mei)年(nian)可(ke)省(sheng)下人民幣(bi)56萬元(yuan)，若是具有100個(ge)(ge)(ge)(ge)長(chang)晶(jing)(jing)(jing)(jing)爐(lu)的(de)(de)襯(chen)底(di)(di)(di)廠，一年(nian)即可(ke)省(sheng)下人民幣(bi)5600萬元(yuan)！此外(wai)，JadeSiC-NK也可(ke)針對同(tong)一個(ge)(ge)(ge)(ge)晶(jing)(jing)(jing)(jing)錠進(jin)(jin)行100%的(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓檢查，進(jin)(jin)行詳細的(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)錠分析(xi)和批次追踨分析(xi)，協助客(ke)戶在高技術門檻(jian)的(de)(de)第(di)三代半導體市場加速制程及產量(liang)優化。

陽明交通大學光電工程學系講座(zuo)教授郭浩(hao)中表示(shi)，蔚華與南(nan)方科技推出的(de)(de)JadeSiC-NK系統(tong)，將非(fei)線(xian)性(xing)光學技術(shu)應用在(zai)第三代半導體的(de)(de)檢測分析，有(you)助突破目前業(ye)界(jie)(jie)在(zai)量產(chan)及制程改善的(de)(de)技術(shu)瓶(ping)頸，對于(yu)產(chan)業(ye)鏈(lian)發展提供極大推力，期盼此(ci)系統(tong)能以更有(you)效(xiao)更穩定的(de)(de)檢測方法，建立(li)業(ye)界(jie)(jie)SiC襯(chen)底(di)檢測標準，成為產(chan)業(ye)界(jie)(jie)非(fei)線(xian)性(xing)光學技術(shu)的(de)(de)領航品牌，引領市場應用持(chi)續創新(xin)及突破。

從設備代理到自有產品 跨足光學檢測領域 蔚華科技前景可期  

蔚華(hua)科技總(zong)經理楊燿(yao)州(zhou)表(biao)示(shi)，考慮經銷代理的(de)不(bu)穩定(ding)性及(ji)追求更好(hao)的(de)獲(huo)利結構，蔚華(hua)不(bu)斷加(jia)強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的(de)解決方(fang)(fang)案，此次透過(guo)并購南(nan)方(fang)(fang)科技，加(jia)速自有產品的(de)發展進程，讓蔚華(hua)從半導體封測(ce)(ce)設備(bei)跨足光學檢(jian)測(ce)(ce)，首先鎖定(ding)極具(ju)前景(jing)的(de)第三代半導體材(cai)料缺陷檢(jian)測(ce)(ce)，對客戶、員工及(ji)投資人來說都將(jiang)是非(fei)常振奮人心的(de)新局。

楊燿州(zhou)進一步(bu)指(zhi)出，蔚(yu)華與南方(fang)科技自經銷(xiao)合作(zuo)以來(lai)(lai)就(jiu)秉(bing)持(chi)共同成長、互相成就(jiu)的(de)(de)(de)初心，成立先(xian)進光(guang)學(xue)材料(liao)檢(jian)測實驗(yan)室讓(rang)獨特的(de)(de)(de)光(guang)學(xue)檢(jian)測技術(shu)更(geng)快進入業(ye)界應用，透過(guo)客戶的(de)(de)(de)反復(fu)驗(yan)證，進而調(diao)整(zheng)產品規格以滿足客戶需求。除了將非(fei)線性(xing)光(guang)學(xue)技術(shu)應用在本次推(tui)出的(de)(de)(de)JadeSiC-NK外，未(wei)來(lai)(lai)也(ye)將加速將南方(fang)科技在MicroLED、超(chao)穎材料(liao)、硅(gui)光(guang)子等先(xian)進光(guang)學(xue)檢(jian)測技術(shu)的(de)(de)(de)商業(ye)化(hua)，持(chi)續加大研發能(neng)量有效整(zheng)合集團資源，發揮(hui)綜效。

光電科技工業協進會董事長邰中和則表示，非常樂見兩家臺灣企業透過互補雙贏的結合產生綜效，更為產業創造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統是極具指針性的技術突破，不但對全球第三代半導體業來說是可以大幅降低成本并增加產能的革命性產品，更能讓(rang)全(quan)球看見蔚(yu)華與南方科技在光學領域的技術實(shi)力(li)，在未(wei)來蓬勃發(fa)展的第三代(dai)半導體市(shi)場扮演(yan)關(guan)鍵(jian)角色。

關于蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及產品，提供半導體各個制程與不同產品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業分工，提供半導體、電子制造、通訊及車用電子等科技產業高質量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年，總部位于臺灣新竹，于上海、蘇州、深圳、成都、高雄皆有服務據點。更多訊息請瀏覽公司官網 www.spirox.com。

關于南方科技

南方科技成立于2014年8月，創辦團隊集合了光學、材料、物理、信息等跨領域人才，將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模塊化、數字化的核心理念（光學模塊化、數字化、軟件化的核心理念，讓艱深的光學運用更為友善及簡單），使研究人員專注在研究開發工作，改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發時程、揮灑研發創意，加速研究與產業技術發展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數字光學』兩大核心技術為基礎，將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫影像、顯微3D光學檢測與數字光學應用四大應用領域。在不同的應用領域，南方致力于研發與創新，深入了解行業痛點并且專注解決關鍵問題。更多訊息請瀏覽公司官網 www.southport.com.tw。