上(shang)海2017年7月12日電 /美通社/ -- 盛美半導(dao)體設備有限公司宣(xuan)布，通過TEBO兆聲波清(qing)洗技(ji)術，在上(shang)海華力微電子(zi)有限公司（華力）的(de)批量生產線上(shang)的(de)圖形硅片上(shang)，實現了無損傷清(qing)洗。

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