上海2020年7月30日 /美通社/ -- 中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）今日宣布推出Prismo HiT3^TM MOCVD設備，主要用于深紫(zi)外LED量產(chan)。

中微Prismo系列MOCVD設備目前已進入全球大多數領先的藍綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3^TM是(shi)中(zhong)微Prismo系列MOCVD設(she)(she)備的最新產品。該設(she)(she)備是(shi)適用于(yu)高(gao)質量氮化鋁和(he)高(gao)鋁組分材料生(sheng)(sheng)長的關鍵(jian)設(she)(she)備，反應腔最高(gao)溫度可達1400度，具有優異的工藝(yi)重復性、均勻性和(he)低缺(que)陷率。該設(she)(she)備同時也為高(gao)產量而設(she)(she)計，單爐可生(sheng)(sheng)長18片2英寸外(wai)延(yan)晶片，并可延(yan)伸到生(sheng)(sheng)長4英寸晶片。

中微公司Prismo HiT3^TM MOCVD設(she)備(bei)早期的(de)客戶包括國內領先的(de)深紫外(wai)LED制(zhi)造(zao)商(shang)馬鞍山杰生半導體有(you)限公司，該公司的(de)深紫外(wai)LED在家用(yong)、醫療和科研設(she)備(bei)等領域(yu)有(you)廣泛應用(yong)。

深(shen)紫(zi)(zi)(zi)外光幾十年前就(jiu)被應用于(yu)工業和(he)民用消毒殺(sha)菌領域(yu)。它通過破壞細菌和(he)病(bing)毒的(de)(de)(de)DNA使其喪失繁殖(zhi)能力來發揮(hui)作用。深(shen)紫(zi)(zi)(zi)外LED被用于(yu)不同(tong)波(bo)長的(de)(de)(de)殺(sha)菌燈(deng)中，且與傳統的(de)(de)(de)汞燈(deng)相比對環境無(wu)污染。類似SARS、MERS和(he)新冠病(bing)毒的(de)(de)(de)出現使得深(shen)紫(zi)(zi)(zi)外LED產(chan)品的(de)(de)(de)需求(qiu)激增，深(shen)紫(zi)(zi)(zi)外LED產(chan)品可以(yi)消滅(mie)這些新生(sheng)微生(sheng)物(wu)。波(bo)長260-280nm的(de)(de)(de)UVC波(bo)段的(de)(de)(de)深(shen)紫(zi)(zi)(zi)外光就(jiu)是目(mu)前該領域(yu)最先進的(de)(de)(de)技術(shu)解(jie)決方案(an)（例如杰生(sheng)半導體的(de)(de)(de)深(shen)紫(zi)(zi)(zi)外LED產(chan)品）。

中微公司設計的Prismo HiT3^TM MOCVD設(she)備(bei)具(ju)有(you)新(xin)穎的腔(qiang)體設(she)計，能(neng)在高(gao)溫環境下生(sheng)長(chang)高(gao)質量氮化(hua)鋁工(gong)藝，并具(ju)有(you)業內領(ling)先(xian)的深紫外(wai)LED高(gao)產出(chu)率；同(tong)時(shi)(shi)具(ju)備(bei)較(jiao)長(chang)的平均免開腔(qiang)維(wei)護(hu)間隔時(shi)(shi)間，進一步延長(chang)正(zheng)常運行時(shi)(shi)間并提高(gao)產能(neng)。真空自(zi)動(dong)化(hua)傳輸系(xi)統可以抑制顆(ke)粒物(wu)的產生(sheng)，并減少缺(que)陷。自(zi)動(dong)化(hua)升降(jiang)機構可方(fang)便(bian)維(wei)護(hu)操(cao)作并有(you)效節省維(wei)護(hu)時(shi)(shi)間。

“我們現在已經看到了深紫外LED帶來的切實好處，它已成為消滅有害病原體的重要工具。”杰生半導體有限公司董事長康健說道，“隨著深紫外LED技術的持續發展，我們為能夠在公共和家庭消毒產品領域處于領先地位而感到自豪。中微公司設計的Prismo HiT3^TM MOCVD設備(bei)可以滿足(zu)深紫外LED大批量、低(di)生(sheng)產成本的(de)(de)制(zhi)造需求。中微公司憑(ping)借其世界一流(liu)的(de)(de)工藝(yi)專長和高性能的(de)(de)MOCVD設備(bei)解決方(fang)案，是值得信賴的(de)(de)合作伙(huo)伴。”

“中微自主研發的Prismo HiT3^TM MOCVD設備延續了(le)我們(men)(men)現有(you)Prismo平臺已(yi)驗證的(de)(de)主要創新功(gong)能(neng)，并提升(sheng)了(le)可(ke)在(zai)高溫工藝環(huan)境下(xia)生(sheng)(sheng)長氮化鋁基(ji)材料的(de)(de)性(xing)能(neng)，使之拓展(zhan)到深紫外LED的(de)(de)應用。”中(zhong)微公(gong)司(si)執行(xing)副總裁兼首席運營(ying)官杜志(zhi)游博士說道，“杰生(sheng)(sheng)半導(dao)體(ti)始終致力(li)于持續發(fa)展(zhan)LED技術(shu)并創造有(you)益于人(ren)類健(jian)康的(de)(de)產品，我們(men)(men)很高興杰生(sheng)(sheng)成(cheng)(cheng)為我們(men)(men)的(de)(de)早期用戶，同時也很榮幸我們(men)(men)的(de)(de)設備解決方案能(neng)夠助(zhu)力(li)客戶研(yan)發(fa)下(xia)一(yi)代深紫外LED產品，并在(zai)技術(shu)研(yan)發(fa)和成(cheng)(cheng)本控制(zhi)上幫助(zhu)客戶達成(cheng)(cheng)目標(biao)。”

Prismo HiT3^TM是中微公司的注冊(ce)商標。