上海2016年11月9日電 /美通社/ -- 英國豪邁旗下艾里卡特科技有限公司（//www.alicat.com.cn/ ）的質量流量控制器打造真空室內較佳鍍膜環境，確保在鍍膜和濺射工藝中保持產品的完整性。MCE系列和MCV系列質量流量控制器可用(yong)來(lai)替換傳統和(he)(he)(he)已停產的(de)MKS設(she)備。MCE系(xi)(xi)列(lie)和(he)(he)(he)MCV系(xi)(xi)列(lie)產品按(an)照通用(yong)的(de)工業用(yong)質量流量控制(zhi)器尺(chi)寸設(she)計，易(yi)于集(ji)成在(zai)現有(you)系(xi)(xi)統中。在(zai)使用(yong)中，MCE系(xi)(xi)列(lie)和(he)(he)(he)MCV系(xi)(xi)列(lie)質量流量控制(zhi)器可快速、精確地控制(zhi)流量，從(cong)而(er)保障工藝均勻性和(he)(he)(he)工序質量。
艾(ai)里卡特MCE系列(lie)和MCV系列(lie)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器以(yi)50～100毫秒(miao)的(de)控(kong)制(zhi)響應速度(du)精確地(di)控(kong)制(zhi)氣(qi)體流量(liang)(liang)(liang)(liang)，量(liang)(liang)(liang)(liang)程范(fan)圍為(wei)(wei)0-0.5 sccm（滿量(liang)(liang)(liang)(liang)程）至0-20 slpm（滿量(liang)(liang)(liang)(liang)程）。快速的(de)控(kong)制(zhi)響應可(ke)以(yi)大大改善(shan)真空鍍膜最終產品質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)，并且(qie)有(you)助于消(xiao)除靶中毒。集成式氣(qi)動(dong)切斷閥為(wei)(wei)常(chang)閉狀態(tai)，可(ke)提供(gong)氦氣(qi)泄漏率僅(jin)為(wei)(wei)1 x 10-9 atm-sccm/s的(de)正(zheng)向切斷。
MCE系列質量流量控制器用于取代MKS傳統型號1179A Mass-Flo®，而MCV系列質量流量控制器則用于取代MKS已停產的型號2179A Mass-Flo®的。艾(ai)里卡特(te)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器均(jun)采用(yong)12-30伏(fu)通(tong)用(yong)電源適配(pei)(pei)器供(gong)電。此外，艾(ai)里卡特(te)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器的通(tong)訊接(jie)口(kou)可與所(suo)有(you)現有(you)的9針或15針D-sub引(yin)腳相匹(pi)配(pei)(pei)，從而(er)方(fang)便用(yong)戶(hu)進行(xing)替換。艾(ai)里卡特(te)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器可被任意方(fang)向安裝(zhuang)，甚至(zhi)倒置，不需要進行(xing)再次(ci)校準，因此大大簡化了安裝(zhuang)過(guo)程。
預(yu)(yu)設了98種(zhong)常用氣體(ti)的MCE系(xi)(xi)列和(he)MCV系(xi)(xi)列質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制器(qi)內預(yu)(yu)設了98種(zhong)可(ke)以(yi)測(ce)量(liang)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)、體(ti)積流(liu)量(liang)、以(yi)及絕(jue)對(dui)壓力和(he)溫度，并自(zi)帶溫度和(he)壓力補償功能(neng)。用戶可(ke)通(tong)過(guo)(guo)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制器(qi)自(zi)帶的顯(xian)示屏接輸入設定值，也(ye)可(ke)通(tong)過(guo)(guo)RS-232（或(huo)RS-485）串(chuan)口通(tong)訊進(jin)行遠程(cheng)設定。
MCE系(xi)列和MCV系(xi)列質量流量控(kong)制器采用(yong)的(de)艾里卡特(te)專利的(de)層(ceng)流壓差技術，具有NIST可溯源校準證(zheng)書以及CE認證(zheng)。
