上(shang)海(hai)2018年3月14日(ri)(ri)電 /美通社(she)/ -- SEMICON China 2018 -- 科(ke)(ke)學服務領(ling)域的世(shi)界領(ling)導者賽默飛(fei)世(shi)爾科(ke)(ke)技(ji)(以下(xia)簡稱(cheng)：賽默飛(fei))宣布推出新產品，增強半導體制造(zao)的質(zhi)量(liang)控制和(he)產量(liang)。這(zhe)些新產品將于2018年3月14日(ri)(ri)至(zhi)16日(ri)(ri)在SEMICON China (N5館5619號(hao)展位)展出。

賽默(mo)飛半導(dao)體(ti)副總裁兼總經理(li)Rob Krueger表(biao)示：“賽默(mo)飛深耕用于(yu)控(kong)制(zhi)生產(chan)工藝和(he)(he)診斷半導(dao)體(ti)和(he)(he)顯示器制(zhi)造(zao)(zao)過程和(he)(he)產(chan)品故障根本原因的先(xian)進分析技術。本周，我們將推(tui)出新產(chan)品，幫助推(tui)動亞(ya)洲，特別(bie)是中國的半導(dao)體(ti)制(zhi)造(zao)(zao)業(ye)快(kuai)速(su)創(chuang)新和(he)(he)持續拓展。”

Verios G4極高分辨率掃描電子顯微鏡

Thermo Scientific Verios G4極高分辨率(XHR)掃描電(dian)子顯(xian)微鏡(SEM)提供確定根(gen)本原因(yin)缺陷、產(chan)量損失以及過程(cheng)和產(chan)品故(gu)障所(suo)需的能力和靈活性。

Krueger表示(shi)：“Verios G4是源于我們大獲成功的Helios DualBeam系列(lie) (聚焦離子束/掃(sao)(sao)描(miao)電(dian)子顯微(wei)鏡)儀器的掃(sao)(sao)描(miao)電(dian)子顯微(wei)鏡解決(jue)方案。它提供各種環(huan)(huan)境(jing)下行業領先(xian)的性能，尤(you)其(qi)是用于先(xian)進工藝(yi)的光束敏(min)感材(cai)料所需的低(di)電(dian)壓環(huan)(huan)境(jing)。”

Hyperion II快速高效的納米探針 0·

納(na)(na)米探(tan)測(ce)器直接對(dui)單個晶體管(guan)進行電測(ce)量。新(xin)的(de)Thermo Scientific Hyperion II是基(ji)(ji)于(yu)原(yuan)子(zi)力顯微鏡(jing)的(de)唯(wei)一商(shang)用納(na)(na)米探(tan)針，無需真空要求(qiu)和基(ji)(ji)于(yu)掃描電子(zi)顯微鏡(jing)納(na)(na)米探(tan)測(ce)器的(de)電子(zi)束/樣品相互作(zuo)用。Hyperion II的(de)自動操作(zuo)和成像模式專為提高速度和易用性而設計(ji)。此外(wai)，其(qi)精確定位(wei)電氣故障的(de)能力可以提高DualBeam或者(zhe)TEM后續(xu)分析的(de)速度和效(xiao)率(lv)。

iCAP TQs電感耦合等離子體質譜儀推動快速可靠的化學監測

Thermo Scientific iCAP TQs電感耦合(he)等(deng)離子體(ti)質(zhi)譜儀(ICP-MS)是(shi)信譽(yu)卓著(zhu)的iCAP TQ ICP-MS的專用半導體(ti)版(ban)本。它提供了超高純度化(hua)(hua)學(xue)(xue)品中(zhong)快速、可靠和可重復的低水平污染物測(ce)量，以支持(chi)先進半導體(ti)生產過(guo)程的自(zi)動化(hua)(hua)在線監測(ce)和統(tong)(tong)計過(guo)程控(kong)制(zhi)。iCAP TQs ICP-MS 在一個(ge)高性能解決(jue)方(fang)案中(zhong)提供了新的超低檢(jian)測(ce)水平和簡單性。有了這(zhe)個(ge)新系統(tong)(tong)，如今(jin)將化(hua)(hua)學(xue)(xue)分析從(cong)實(shi)驗室移到工廠成為可能，并支持(chi)對(dui)化(hua)(hua)學(xue)(xue)浴進行在線控(kong)制(zhi)，從(cong)而優化(hua)(hua)響應時間。