上(shang)海2014年11月28日(ri)電 /美通社/ -- 中(zhong)微半導體設(she)(she)備(bei)有限公司（簡稱“中(zhong)微”）今日(ri)宣布(bu)在本月初舉辦的(de)第十六屆中(zhong)國(guo)國(guo)際工業博(bo)覽會上(shang)榮獲金獎(jiang)。這一獎(jiang)項(xiang)彰(zhang)顯了中(zhong)微十年來在先進(jin)(jin)技(ji)術自主創新(xin)方面取(qu)得的(de)可喜(xi)成績。中(zhong)微此次(ci)獲獎(jiang)產品是(shi)(shi)其處于行業領(ling)先地(di)位(wei)的(de)去耦(ou)合等離子體介(jie)質刻蝕機Primo AD-RIE®，該設(she)(she)備(bei)能夠滿足28到15納米(mi)及更(geng)先進(jin)(jin)工藝(yi)芯(xin)片制造的(de)嚴苛(ke)要求。此次(ci)工博(bo)會有四(si)家單位(wei)獲頒金獎(jiang)，中(zhong)微是(shi)(shi)其中(zhong)之一。
這是中微連續第(di)二年(nian)蟬聯工博(bo)會獎(jiang)(jiang)(jiang)(jiang)項(xiang)。去(qu)年(nian)中微公司(si)的MOCVD設(she)備Prismo D-BLUE®榮獲工博(bo)會銀獎(jiang)(jiang)(jiang)(jiang)第(di)一名，該設(she)備已被主流LED生產(chan)線采(cai)用(yong)并進(jin)行大批量LED外延(yan)生產(chan)。工博(bo)會獎(jiang)(jiang)(jiang)(jiang)項(xiang)評審極其嚴格，同一家公司(si)連續兩年(nian)獲獎(jiang)(jiang)(jiang)(jiang)實屬少數。
“中微(wei)(wei)的(de)(de)(de)兩(liang)種不同產品分別于去年(nian)(nian)獲(huo)銀獎(jiang)、今年(nian)(nian)獲(huo)金(jin)獎(jiang)，確實顯示了(le)中微(wei)(wei)從2004年(nian)(nian)成立(li)以來取得的(de)(de)(de)強勁的(de)(de)(de)技(ji)術(shu)(shu)和(he)業務發展(zhan)勢(shi)頭。”中微(wei)(wei)公司董事(shi)長(chang)兼首席(xi)執行官尹志堯博士說道(dao)，“這項榮譽(yu)歸功于我們(men)的(de)(de)(de)技(ji)術(shu)(shu)團(tuan)隊，他(ta)們(men)每天都在為(wei)推動(dong)技(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)進步，為(wei)給客戶提供較好的(de)(de)(de)技(ji)術(shu)(shu)和(he)設備，并(bing)為(wei)節省(sheng)生產成本而努力奮斗。”
2014年(nian)(nian)對中微來說是標志性的一年(nian)(nian)。今(jin)年(nian)(nian)7月，中微正(zheng)式發布(bu)了雙反應(ying)(ying)臺(tai)介質刻(ke)蝕(shi)除膠一體機Primo iDEA?-- 這是業界首次(ci)將介質等離(li)子(zi)體刻(ke)蝕(shi)的雙臺(tai)反應(ying)(ying)器(qi)和等離(li)子(zi)除膠的雙臺(tai)反應(ying)(ying)器(qi)集成在同一個系統上，它(ta)大大提高了生產效率，同時降(jiang)低了這兩(liang)項工(gong)藝過程(cheng)20%的生產成本。
此(ci)外，中(zhong)微單臺(tai)反應器等離子(zi)體(ti)刻蝕設備(bei)(bei)Primo SSC AD-RIE?已(yi)被(bei)客戶驗證(zheng)用于16納米閃存芯片加工中(zhong)最關鍵的(de)步驟(zou)。該設備(bei)(bei)已(yi)用于芯片批量生產(chan)，表現卓越，具備(bei)(bei)極長(chang)的(de)持(chi)續(xu)正(zheng)常(chang)運行時間和穩定(ding)的(de)良(liang)率(lv)，目前每(mei)月可加工14多(duo)萬片晶圓片。
中微先(xian)進的(de)(de)技術能力還吸引了(le)許多(duo)新的(de)(de)海外客戶。一些業內領先(xian)的(de)(de)企業已將中微的(de)(de)刻蝕設備選為(wei)其先(xian)進芯片加工的(de)(de)定(ding)型設備（PTOR）。
除了(le)在等(deng)離子(zi)體介質刻蝕(shi)領域(yu)的(de)強勁勢頭(tou)，中(zhong)微(wei)在硅(gui)通(tong)孔(kong)刻蝕(shi)和MEMS刻蝕(shi)領域(yu)也取得(de)了(le)較大的(de)發展。中(zhong)微(wei)12英寸硅(gui)通(tong)孔(kong)刻蝕(shi)設備取得(de)了(le)大陸和臺灣地區領先(xian)客戶(hu)的(de)重復(fu)(fu)訂單。中(zhong)微(wei)的(de)硅(gui)通(tong)孔(kong)刻蝕(shi)設備為(wei)諸如CMOS圖像(xiang)傳感(gan)器(qi)(qi)（CIS）和其他傳感(gan)器(qi)(qi)等(deng)復(fu)(fu)雜的(de)封裝提供先(xian)進(jin)的(de)技術，幫(bang)助客戶(hu)提高產能(neng)并節省(sheng)生產成本。
MOCVD市(shi)場受本土LED芯(xin)片(pian)制造商的驅(qu)動逐漸回暖，國內(nei)越來越多(duo)的LED芯(xin)片(pian)制造商開始接受中微(wei)(wei)的MOCVD設備。中微(wei)(wei)欲借(jie)力(li)于(yu)這(zhe)股增(zeng)長的趨勢(shi)，加(jia)速MOCVD設備進(jin)入客戶生產線的步伐。MOCVD設備在以較節(jie)省成本的方(fang)式生產高亮度LED方(fang)面(mian)起著關鍵作用。LED照(zhao)明預計(ji)終將取(qu)代低能效的白熾(chi)燈。
尹志堯博士(shi)說道(dao)：“我(wo)(wo)們(men)(men)(men)(men)相信，中(zhong)(zhong)(zhong)微(wei)先進(jin)的(de)(de)(de)技術是公司過去十年取(qu)得成功的(de)(de)(de)核心因素，我(wo)(wo)們(men)(men)(men)(men)也(ye)認為，中(zhong)(zhong)(zhong)微(wei)的(de)(de)(de)經營方式發揮了同(tong)樣重(zhong)要的(de)(de)(de)作用。中(zhong)(zhong)(zhong)微(wei)從一開(kai)始就很(hen)注重(zhong)把較(jiao)好(hao)的(de)(de)(de)商業模式和技術專長同(tong)高質量的(de)(de)(de)產(chan)品和客戶(hu)服(fu)務結合起來。如果客戶(hu)選(xuan)擇與中(zhong)(zhong)(zhong)微(wei)合作，他們(men)(men)(men)(men)完(wan)全可(ke)以相信我(wo)(wo)們(men)(men)(men)(men)是能夠在技術創(chuang)新、快(kuai)速提高產(chan)能、專業知識(shi)、質量保證、可(ke)靠性和服(fu)務這些他們(men)(men)(men)(men)最(zui)看重(zhong)的(de)(de)(de)方面(mian)做得較(jiao)好(hao)的(de)(de)(de)合作伙伴。正是這種(zhong)(zhong)信譽使我(wo)(wo)們(men)(men)(men)(men)過去兩年銷售額連續增長了40%，我(wo)(wo)們(men)(men)(men)(men)希(xi)望保持這種(zhong)(zhong)健康的(de)(de)(de)增長速度。”
