桃園2017年11月24日電 /美通社/ -- 由致茂電子投資的兆晟奈米科技于24日與工業技術研究院進行“奈米粒子監控技術”轉(zhuan)移(yi)簽(qian)約儀式，工研院(yuan)并將成為兆(zhao)晟奈(nai)米(mi)科技的重要股東(dong)。兆(zhao)晟奈(nai)米(mi)科技已于日前獲(huo)準進入新(xin)竹科學園(yuan)區(qu)，發展、制(zhi)造半(ban)導(dao)體先進制(zhi)程(cheng)所使用溶液(ye)的奈(nai)米(mi)粒子監測系(xi)統，有效協助提升半(ban)導(dao)體制(zhi)程(cheng)良率。

半導體制程中常用到大量溶液，進行晶圓表面的清洗、研磨與蝕刻。隨(sui)著半(ban)導體制程從20奈(nai)米(mi)(mi)、10奈(nai)米(mi)(mi)乃(nai)至7奈(nai)米(mi)(mi)，電晶體縮小會使電流通道的寬度越窄，故制作過程中只要溶液出現一絲雜質 -- 殺手級的奈米粒子，就會影響產品良率。目前現有的光散射粒子量測技術在20奈米以下已難以精準偵測溶液中粒子的大小、數量，導致半導體制程良率難以控管。兆晟奈米將提供半導體廠一副“鷹眼”般的眼鏡：“新世代溶液奈米粒子監測系統 -- SuperSizer”，可準確偵測制程液態環境中5奈米以上粒子的大小與(yu)分(fen)布情形，使廠(chang)商得以采取必(bi)要的措施改善制程提升良(liang)率。此技術(shu)除應用于半導(dao)體先進制程，亦可應用在電子、光電、生醫材料等領域。

兆(zhao)晟奈米科技將結合致(zhi)(zhi)(zhi)茂集(ji)(ji)團營運(yun)據點及行銷通路，拓展全(quan)球(qiu)市場。致(zhi)(zhi)(zhi)茂電子(zi)為精密(mi)(mi)電子(zi)量測儀器、自動化(hua)測試系統(tong)、智慧制造系統(tong)與(yu)全(quan)方(fang)位Turnkey測試及自動化(hua)解(jie)(jie)決方(fang)案領(ling)導廠商，在半導體(ti)測試領(ling)域(yu)已具備多項后端(duan)制程(cheng)精密(mi)(mi)量測產品線，兆(zhao)晟奈米科技的(de)加入將成(cheng)為致(zhi)(zhi)(zhi)茂集(ji)(ji)團提供半導體(ti)前端(duan)制程(cheng)檢測解(jie)(jie)決方(fang)案的(de)供應商，滿足(zu)半導體(ti)制程(cheng)更完整的(de)檢測需求(qiu)。