上海2015年(nian)3月(yue)13日電 /美(mei)通社/ -- 2015年(nian)1月(yue)，盛美(mei)半導體再次獲得海力士(shi)（SK Hynix）三臺8腔(qiang)體單(dan)片清洗機訂單(dan)，使得該公司目前(qian)銷售(shou)到海力士(shi)大(da)生產線上的設備數量(liang)累計已(yi)達(da)7臺。

盛美半導體的首席執行官王暉談到：“得到海力士的批量重復訂單，標志著盛美半導體的300mm單片清洗機在產品良率提升上有突出表現，機臺性能及穩定性等各方面已經能夠全面滿足國際主流大生產線22nm技術節點的嚴格要求。”

海力士在生產集成(cheng)電路過(guo)(guo)程中，薄膜沉(chen)積（Si3N4,Oxide,Carbon..）后(hou)、CMP后(hou)、Barrier Metal 沉(chen)積前、深孔蝕刻(ke)后(hou)等多(duo)個工藝流程都需要進行清(qing)洗(xi)。上(shang)述3臺配(pei)備了盛美半導體獨家專利技(ji)術“空間(jian)交變相(xiang)位移兆聲(sheng)波技(ji)術”的設備，通過(guo)(guo)配(pei)合適當的化學(xue)藥(yao)液（如SC-1， H2-功能水等），可在微小(xiao)顆粒（小(xiao)于(yu)65nm）去除，化學(xue)氧化層控制以(yi)及深孔清(qing)洗(xi)等工藝表現上(shang)優于(yu)國(guo)際市場上(shang)美國(guo), 日本主流設備商的單片清(qing)洗(xi)機(ji)。

海力士在2011年被韓國的SK集團收購，是(shi)世界第二大DRAM（最常(chang)見的一種系(xi)統(tong)內存）制(zhi)造商，公司規(gui)模(mo)在整個半導體行業名列第四(si)位。