上海2013年6月17日電 /美通社/ -- 盛美半導體設備（上海）有限公司接獲SK海力士半導體（中(zhong)國(guo)）有限公司的一臺(tai)12英寸8腔SAPS兆聲波單片清洗(xi)設備訂(ding)單，預計7月中(zhong)旬交貨。這是暨2013年年初至今，盛(sheng)美(mei)獲得的第7臺(tai)清洗(xi)設備訂(ding)單，也是暨2011年獲得韓國(guo)海力士清洗(xi)設備后的重復訂(ding)單。

“盛(sheng)美已經進(jin)入快速成長期，該重(zhong)復訂單(dan)的(de)(de)(de)獲得，證(zheng)明(ming)了韓國(guo)一流半導體制造廠商對盛(sheng)美單(dan)片(pian)清(qing)洗設備(bei)優越(yue)清(qing)洗性(xing)能(neng)以(yi)及大生產線上運行可靠性(xing)的(de)(de)(de)肯(ken)定。”盛(sheng)美半導體設備(bei)公司的(de)(de)(de)創(chuang)始人、首席執行官王(wang)暉博士說，“我們(men)將繼續(xu)擴展(zhan)國(guo)內外客戶群，有信心(xin)使SAPS兆聲(sheng)波這一個(ge)具有差異性(xing)的(de)(de)(de)清(qing)洗技術在28納米以(yi)下技術節點成為行業主流技術。”

這臺單片(pian)清洗機裝備(bei)了盛美的(de)SAPS（Space Alternated Phase Shift）空間交變相(xiang)移技(ji)術，以(yi)及三種(zhong)獨(du)立化學液的(de)供液系統。可去除傳統清洗方法(fa)無(wu)法(fa)去除的(de)微小顆粒(li)以(yi)及化學煙霧(wu)沉積，從(cong)而在(zai)清洗后芯(xin)片(pian)良(liang)率上(shang)獲得(de)較大提升。

關于盛美

盛(sheng)美(mei)(mei)半(ban)導體設(she)(she)備公(gong)司(si)于(yu)1998年(nian)在美(mei)(mei)國硅谷成立，致力(li)于(yu)研究(jiu)無(wu)應力(li)拋光與(yu)鍍銅設(she)(she)備。2006年(nian)9月盛(sheng)美(mei)(mei)開始在亞洲發(fa)展(zhan)，并與(yu)上(shang)海(hai)創投一(yi)起成立盛(sheng)美(mei)(mei)半(ban)導體上(shang)海(hai)合資公(gong)司(si)。公(gong)司(si)坐落(luo)在上(shang)海(hai)張江高科技園區，進(jin)行(xing)研究(jiu)、開發(fa)、工(gong)程設(she)(she)計、制造 、以(yi)及售(shou)后服務。盛(sheng)美(mei)(mei)精于(yu)濕式的(de)半(ban)導體設(she)(she)備：無(wu)應力(li)拋光、鍍銅、與(yu)兆聲波單片清洗設(she)(she)備。盛(sheng)美(mei)(mei)具有完整的(de)自主知識產權，已經(jing)獲得60多(duo)個國際專(zhuan)利，還有100多(duo)個專(zhuan)利正在申請中。盛(sheng)美(mei)(mei)可以(yi)為客戶提供可靠的(de)先(xian)進(jin)技術解決方案以(yi)及世(shi)界一(yi)流的(de)售(shou)后服務，降低設(she)(she)備的(de)擁有成本。